Малогабаритный комплекс для магнетронного распыления

Созданная установка обеспечивает получение тонких плёнок на металлических и неметаллических материалах при малой длительности цикла обработки.

kompleks-magnetron-raspyleniya.jpg

Применимость

  • Электронная промышленность: создание проводящих слоев на керамических материалах;
  • Машиностроение: нанесение защитных и декоративных покрытий на металлы и неметаллические материалы;
  • Оптическая промышленность: создание светопроницаемых покрытий на стекле.

Преимущества

  • Получение широкой гаммы по химическому составу пленок металлов, оксидов и нитридов металлов толщиной 0,05–15 мкм на металлических и неметаллических материалах подложки;
  • Сокращение времени получения образца для испытаний до 15–20 минут;
  • Возможность получения композиционных и многослойных покрытий;
  • Возможность визуализации формы плазменного разряда при используемых режимах распыления.

Уровень готовности технологии

  • УГТ 6. Прототип протестирован. Проверена надёжность устройства.

Патентная защита

  • Оформляется патентная заявка.

Читайте также