В Московском Политехе получены новые сведения о процессах, протекающих в проводниковых системах микро- и наноэлектроники
Развитие микро- и наноэлектроники сегодня невозможно без развития технологии тонких проводящих пленок, применяемых в роли межсоединений и контактов, которые в условиях миниатюризации конструкции испытывают всё возрастающие электротепловые нагрузки. Исследованию процессов, происходящих при воздействии электрических полей, на состояние тонкоплёночных проводниковых систем посвящены научные исследования, проводимые в Московском Политехе под руководством доктора физ-мат. наук Аркадия Скворцова и при непосредственном участии старшего научного сотрудника кафедры физика Марины Корячко, аспирантов Данилы Пшонкина и Евгении Гнатюк.
Для изучения процессов, протекающих в тонких плёнках при электрическом взрыве, была разработана оригинальная методика с использованием специально созданного экспериментального комплекса. В результате получены уникальные результаты о процессах, происходящих в таких системах: обнаружено различие в механизмах формирования и миграции оплавленных зон на поверхности в процессе прохождения токового импульса и после его отключения, выявлено, что после отключения импульса тока миграция расплавленных зон определяется градиентом температуры вблизи локального теплового источника. По размерной зависимости скорости перемещения получены значения температурных градиентов и проведена оценка коэффициента термоупругости, определяющего динамику миграции зон в поле градиента температур в условиях теплового удара.
Сфера применения полученных результатов не ограничивается только микроэлектроникой. Например, посредством электрического взрыва проводника возможно реализовать синтез биметаллических наночастиц из несмешивающихся металлов (например, железа и свинца). Результаты работы планируется использовать при разработке элементов технологии расплавления материала в заранее сформированном слое для 3d печати.
