Малогабаритный комплекс для магнетронного распыления

Созданная установка обеспечивает получение тонких плёнок на металлических и неметаллических материалах при малой длительности цикла обработки.

Применимость

• Электронная промышленность: создание проводящих слоев на керамических материалах;
• Машиностроение: нанесение защитных и декоративных покрытий на металлы и неметаллические материалы;
• Оптическая промышленность: создание светопроницаемых покрытий на стекле.

Преимущества

• Получение широкой гаммы по химическому составу пленок металлов, оксидов и нитридов металлов толщиной 0,05–15 мкм на металлических и неметаллических материалах подложки;
• Сокращение времени получения образца для испытаний до 15–20 минут;
• Возможность получения композиционных и многослойных покрытий;
• Возможность визуализации формы плазменного разряда при используемых режимах распыления.

Уровень готовности технологии

• УГТ 6. Прототип протестирован. Проверена надёжность устройства.

Патентная защита

• Оформляется патентная заявка.